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更新时间:2025-11-27
浏览次数:156近藤(KONSEI)晶圆卡爪能适配半导体行业对精密夹持的严苛要求,其核心竞争力在精度、寿命、洁净度上通过材料选型、结构设计及工艺优化充分体现,同时搭配适配性与定制化优势,成为半导体晶圆搬运领域的优质选择,具体如下:
一、精度
1、定位与重复定位精准:旗下适配晶圆的相关卡爪表现突出,比如部分型号定心精度达 ±0.05mm,像 CKGJ 系列这类适配半导体制造的高精度卡盘,重复定位精度甚至能达到 ±0.01mm,可确保晶圆批量搬运时位置一致性,避免因定位偏差导致的晶圆碰撞或加工误差。针对 WHB 系列晶圆卡爪,其搭配的钳型设计与 180° 开合结构,作业时侵入空间小,不会与晶圆发生干涉,进一步保障了夹持和搬运的精准度。
2、结构助力精度稳定:部分晶圆卡爪采用一体型直线导轨,能增强卡爪整体刚性,减少运行过程中的振动和偏移,为高精度作业提供结构支撑。同时可选配开关确认传感器,实时反馈卡爪开合状态,方便与自动化系统联动,避免因卡爪动作异常造成的定位失误,提升自动化作业的精准性。
二、寿命
1、高耐磨材质延长使用寿命:核心部件选用高品质专用材料,叉体采用 CFRP(碳纤维增强复合材料),兼具高强度与耐用性;紧固件等选用 PEEK 材质,耐磨且兼容性强,能应对高频次的夹持动作,减少部件磨损。内部部分传动结构配件还选用高耐磨合金材料,进一步降低长期使用中的损耗,其产品整体可实现超 50 万次夹持循环的使用寿命。
2、散热与防护设计降低损耗:部分适配晶圆加工的卡爪内置散热槽,可控制连续加工时的温升,确保温度不超过 15℃,避免高温影响部件性能和寿命。部分型号配备橡皮套等防护结构,能防止雾气、灰尘等侵入内部机构,减少环境对部件的侵蚀,延长维护周期和使用寿命。
三、洁净度
1、低污染材质杜绝洁净隐患:卡爪核心部件选用的 CFRP 和 PEEK 材质,化学稳定性强,在作业过程中不会产生粉尘、碎屑,也不会与晶圆发生化学反应造成污染。这种材质组合从源头避免了晶圆被污染的风险,契合半导体无尘生产环境的要求。
2、夹持方式规避表面损伤:WHB 系列等晶圆卡爪采用钳型边缘夹持设计,全程仅接触晶圆边缘,不触碰晶圆功能面,从根本上避免了夹持过程中对晶圆表面的刮伤或污染。同时结构紧凑且运行平稳,不会因运行产生气流扰动,减少了无尘室内的粉尘扩散,适配半导体行业无尘室的洁净标准。
四、额外适配优势
近藤晶圆卡爪还具备强适配性与定制化能力,比如 WHB 系列标准款可一次性搬运 25 片晶圆,还能定制 5 片等不同搬运数量的规格,且适配 φ300mm、φ450mm 等不同直径的晶圆。同时支持多方向安装,能灵活集成到不同自动化设备中,搭配兼容吸盘等多种搬运装置,适配半导体检测、分选等多道工序的需求,进一步提升了其在行业内的竞争力。
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