NIDEC尼得科 压力传感器 PA-920S-502G-W2 是尼得科 PA-920S 系列中面向半导体制造等场景设计的电压输出型表压传感器，主打适配气体供给系的高精度压力测量，W2 后缀对应 1.125 英寸 W 型密封接头。

NIDEC尼得科 压力传感器    PA-920S-502G-W2

NIDEC尼得科 压力传感器

一、基本参数

压力相关参数：属于表压传感器，额定压力量程为 0~0.5MPa，可承受的最大压力达 0.75MPa，适配中低压气体压力监测场景；输出精度达 ±1% F.S.，搭配 0~50℃的专项温度补偿设计，温度特性仅 ±0.01% F.S./℃，能有效减少温度变化带来的测量偏差，保障半导体制造等高精度需求场景的监测稳定性。

供电与输出：作为 PA-920S 系列机型，采用电压输出模式，输出 1 - 5VDC 标准模拟电压信号，可直接对接半导体设备的控制系统，无需额外信号转换部件；适配 12 - 24VDC±10% 的供电电压，兼容半导体工厂主流的直流供电系统，适配工业场景下的供电波动情况。

耐高温与环境适配：工作温度范围为 - 20~70℃，且需处于无结露环境，能适应半导体制造车间的恒温管控环境；储存温度为 - 20~80℃，便于车间非工作时段或仓储时的存放；工作湿度适配 35 - 85％RH，同样需避免结露，防止湿气影响内部电路性能。

结构与防护细节：采用 1.125 英寸 W 型密封接头（W2），适配半导体设备气体供给系的对应管路接口；感压元件选用 SUS316L 双熔接材料，搭配薄膜型半导体元件，且传感器芯片与接头采用一体焊接结构，既提升了耐腐蚀性，又能避免气体泄漏；整体重量约 90 - 130g，外形尺寸为 φ20×66 - 92.2mm（不含线缆），小型轻量化设计适配集成式气体系统的狭小安装空间。

二、核心性能参数

适配半导体场景的高可靠性：SUS316L 材质的感压元件能耐受半导体制造中多种特种气体的腐蚀，一体焊接结构杜绝了气体供给过程中的泄漏风险，契合 CVD 装置、蚀刻装置等半导体设备对气体管路密封性和稳定性的严苛要求。

安装与布线便捷：采用连接器式安装设计，相比传统接线方式大幅简化了安装和布线流程，便于半导体设备集成时的快速装配，也方便后期维护时的拆卸更换。

小型化适配集成系统：紧凑的外形设计使其特别适合安装在集成型气体系统和管路在线位置，不会占用过多设备空间，契合半导体设备高度集成化的设计趋势。

适用场景：该传感器核心适配半导体制造领域，比如 CVD（化学气相沉积）装置、蚀刻装置的气体供给系管路，可对管路内的特种工艺气体进行高精度在线压力监测；同时也可用于半导体工厂的气体箱体、气体输送干线等位置，为半导体制造工艺中气体压力的精准管控提供数据支撑，保障工艺稳定性。此外，其耐腐蚀性和密封性也可拓展用于其他对气体压力监测精度和密封性有要求的精密制造场景。