NIDEC尼得科 压力传感器 PA-928S-502G-C2 是尼得科 PA-928S 系列中适配半导体设备供气系统的电流输出型表压传感器，C2 后缀对应 1.125 英寸 C 型密封接头，专为 CVD、蚀刻等半导体设备的气体压力高精度监测设计。

NIDEC尼得科 压力传感器    PA-928S-502G-C2

NIDEC尼得科 压力传感器

一、基本参数

压力相关参数：属于表压传感器，额定压力量程为 0~0.5MPa，可承受的最大压力达 0.75MPa，适配半导体供气系统的中低压监测场景；测量精度达 ±1% F.S.，在 0~50℃补偿温度区间内，温度特性仅 ±0.01% F.S./℃，能有效规避半导体车间温度轻微波动对测量精度的影响，保障压力数据稳定。

供电与输出：作为 PA-928S 系列机型，采用电流输出模式，输出 4 - 20mA 标准工业电流信号，该信号抗干扰能力强，适合半导体设备供气系统的远距离信号传输；适配 24VDC±10% 的供电电压，契合半导体工厂的工业供电标准，可兼容供电系统的小幅电压波动。

耐高温与环境适配：工作温度范围为 - 20~70℃，且需处于无结露环境，匹配半导体制造车间的恒温管控需求；储存温度为 - 20~80℃，方便非工作时段或仓储时存放；工作湿度适配 35 - 85％RH，同样需避免结露，防止湿气侵蚀内部电路造成性能故障。

结构与防护细节：采用 1.125 英寸 C 型密封接头（C2），精准适配半导体供气系统对应的管路接口；感压元件选用 SUS316L 双熔体材料，制成薄膜型半导体元件，且传感器芯片与接头为一体焊接结构，既提升了对特种工艺气体的耐腐蚀性，又能杜绝气体泄漏风险；整体重量约 90 - 130g，外形尺寸为 φ20×66 - 92.2mm（不含线缆），小型轻量化设计适配集成式气体系统的狭小安装空间。

二、核心性能参数

适配半导体特种场景：一体焊接的 SUS316L 材质结构，适配半导体制造中各类特种腐蚀性工艺气体，同时避免气体泄漏污染车间环境或影响工艺效果，是 CVD 设备、蚀刻设备等气体供给系统的专用适配传感器。

安装布线便捷高效：采用连接器接续的设计方式，相比传统接线式传感器，大幅简化了在半导体集成式气体系统中的安装流程，后期维护时的拆卸更换也更方便，减少设备停机检修时间。

信号传输稳定可靠：4 - 20mA 电流输出相比电压输出抗干扰能力更强，在半导体工厂复杂的电气环境中，能减少电磁干扰对压力信号的影响，且适合长距离传输，适配大型半导体设备供气管路的远距离监测需求。

适用场景：该传感器核心应用于半导体制造领域，例如 CVD（化学气相沉积）设备、蚀刻设备的气体供给系统，可对管路内的工艺气体进行高精度在线压力监测；同时也可用于半导体工厂的气体箱体、供气干线等关键位置，为半导体制造工艺中气体压力的精准调控提供可靠数据支撑，保障半导体芯片制造过程的工艺稳定性。