NIDEC尼得科 压力传感器 PA-920S-502R-C2 是尼得科 PA - 920S 系列中的电压输出型复合压力传感器，专为半导体设备供气系统等场景设计，能测量正负压力范围，C2 后缀对应 1.125 英寸 C 型密封接头。

NIDEC尼得科 压力传感器    PA-920S-502R-C2

NIDEC尼得科 压力传感器

一、基本参数

压力相关参数：属于复合压力传感器，型号中 “502R" 对应 - 0.1~0.5MPa 的额定压力量程，可承受的最大压力为 0.75MPa，适配需兼顾负压与正压监测的半导体供气等场景；测量精度达 ±1% F.S.，0 - 50℃补偿温度区间内温度特性仅 ±0.01% F.S./℃，能减少环境温度波动对压力测量精度的干扰。

供电与输出：作为 PA - 920S 系列机型，采用 1 - 5VDC 电压输出模式，可直接对接半导体设备控制系统，无需额外信号转换装置；适配 12 - 24VDC±10% 的供电电压，兼容工业场景常见的直流供电系统，可应对小幅供电波动。其最大消耗电流为 20mA（供电 24V、输出电流 0mA 工况下），功耗适配设备电路负载需求。

耐高温与环境适配：工作温度范围为 - 20~70℃，储存温度为 - 20~80℃，适配半导体车间恒温环境及仓储需求；需在无结露的 35 - 85％RH 湿度环境下工作，避免湿气侵蚀内部电路。同时具备 IP40 防滴结构，能应对车间轻微粉尘、水滴等外部环境影响。

结构与防护细节：配备 1.125 英寸 C 型密封接头（C2），匹配对应规格的供气管路接口；感压接触部位采用 SUS316L 双熔接材料，且经过电解抛光处理，不仅能耐受半导体制造中特种腐蚀性气体和液体，还能保障介质接触面的洁净度；整体净重约 90g（不含线缆），外形尺寸为 φ20×66 - 92.2mm（不含线缆），小型化设计适配集成式气体系统的狭小安装空间。

二、核心性能参数

耐腐且密封可靠：SUS316L 双熔接材料搭配传感器芯片与接头的一体焊接结构，既提升了对腐蚀性介质的耐受性，又杜绝了气体泄漏风险，契合半导体制造中特种气体输送的安全与洁净要求。且介质流道内 0.1μm 及以上尺寸的颗粒数为零，符合精密制造的介质洁净标准。

安装维护便捷：采用连接器式安装设计，大幅简化布线与装配流程，后期设备检修时的拆卸更换也更高效，能减少半导体生产线停机维护时间。

适配复合压力场景：-0.1~0.5MPa 的复合压力量程，相比普通表压传感器适用范围更广，可满足半导体工艺中气体管路启停、切换时出现的负压与正压交替的监测需求。

适用场景：核心适配半导体制造领域，比如 CVD（化学气相沉积）设备、蚀刻设备的气体供给系统，可对管路内特种工艺气体的正负压力变化进行高精度在线监测；同时也可用于半导体工厂的气体箱体、供气干线等关键位置，还能拓展到其他需监测复合压力的精密化工、电子制造等场景，为工艺稳定运行提供可靠的压力数据支撑。