NIDEC尼得科 压力传感器 PA-928S-502R-C2 是尼得科 PA - 928S 系列下的电流输出型复合压力传感器，专为半导体设备的气体供给系统设计，适配需要监测正负压力的场景。

NIDEC尼得科 压力传感器    PA-928S-502R-C2

NIDEC尼得科 压力传感器

一、基本参数

压力相关参数：属于复合压力传感器，“502R" 对应 - 0.1~0.5MPa 的额定压力量程，可承受的最大压力为 0.75MPa；测量精度达 ±1% F.S.，在 0 - 50℃补偿温度区间内，温度误差仅 ±0.1% F.S./℃，能减少半导体车间等场景温度波动对测量数据的影响，且响应时间约为 2ms，可快速捕捉压力变化。

供电与输出：作为 PA - 928S 系列机型，采用 4 - 20mA 标准工业电流输出，适配二线制系统，负载电阻范围在 250 - 500Ω；供电电压为 24VDC±10%（含纹波），契合工业场景的供电标准，能兼容供电系统的小幅电压波动。

耐高温与环境适配：工作温度范围为 - 20~70℃，储存温度为 - 20~80℃，适配半导体车间恒温环境及仓储需求；需在无结露环境下使用，防护等级达 IP40，可应对车间轻微粉尘、水滴等外部环境影响，避免设备故障。

结构与防护细节：配备 1.125 英寸 C 型密封接头（C2），匹配对应规格的供气管路接口；感压接触部位采用 SUS316L 双熔接材料，还经过电解抛光处理，整体净重约 90 - 130g，外形尺寸为 φ20×66 - 92.2mm（不含线缆），小型化设计适配集成式气体系统的狭小安装空间。

二、核心性能参数

耐腐密封性强：SUS316L 双熔接材料搭配传感器芯片与接头的一体焊接结构，既能耐受半导体制造中特种腐蚀性工艺气体，保障接触介质的洁净度，又能杜绝气体泄漏风险，契合半导体特种气体输送的安全要求。

装配维护高效：采用连接器式安装设计，相比传统接线式传感器，大幅简化了集成式气体系统中的布线与装配流程，后期检修时拆卸更换也更便捷，能减少生产线停机维护时间。

适配复合压力场景：-0.1~0.5MPa 的复合压力量程，能满足半导体工艺中气体管路启停、切换时出现的负压与正压交替的监测需求，无需额外更换传感器适配不同压力工况。

适用场景：核心适配半导体制造领域，像 CVD（化学气相沉积）设备、蚀刻设备的气体供给系统，可对管路内特种工艺气体的正负压力变化进行高精度在线监测；同时也适用于半导体工厂的气体箱体、供气干线等关键位置，此外还能拓展到其他对压力监测精度和耐腐蚀性有要求的精密化工、电子制造等场景。