NIDEC尼得科 压力传感器 PA-920S-103G-C2 是尼得科 PA-920S 系列下的表压型电压输出压力传感器，专为半导体设备供气系统设计，适配正压监测场景。

NIDEC尼得科 压力传感器    PA-920S-103G-C2

NIDEC尼得科 压力传感器

一、基本参数

压力相关参数：属于表压传感器，型号中 “103G" 对应 0~1MPa 的额定压力量程，可承受的最大压力达 1.5MPa，适配半导体供气系统等正压监测场景；测量精度达 ±1% F.S.，0 - 50℃补偿温度区间内温度特性仅 ±0.01% F.S./℃，能有效降低环境温度变化对测量精度的干扰。

供电与输出：作为 PA-920S 系列机型，采用 1 - 5VDC 电压输出模式，可直接对接半导体设备的控制系统，无需额外信号转换部件；适配 12 - 24VDC±10% 的供电电压，契合工业场景常见直流供电标准，可应对小幅供电波动。其最大消耗电流为 20mA（供电 24V、输出电流 0mA 工况下），功耗适配设备电路负载需求。

耐高温与环境适配：工作温度范围为 - 20~70℃，储存温度为 - 20~80℃，适配半导体车间恒温环境及仓储需求；需在无结露的 35 - 85％RH 湿度环境下工作；同时具备 IP40 防滴结构，能应对车间轻微粉尘、水滴等外部环境影响，避免内部电路受损。

结构与防护细节：配备 1.125 英寸 C 型密封接头（C2），可精准匹配对应规格的供气管路接口；感压接触部位采用 SUS316L 双熔接材料，且经过电解抛光处理，介质流道内 0.1μm 及以上尺寸的颗粒数为零；整体净重约 90g（不含线缆），外形尺寸为 φ20×66 - 92.2mm（不含线缆），小型化设计适配集成式气体系统的狭小安装空间。

二、核心性能参数

耐腐洁净性优：SUS316L 双熔接材料搭配传感器芯片与接头的一体焊接结构，既能耐受半导体制造中特种腐蚀性工艺气体，又能杜绝气体泄漏风险，同时电解抛光处理的接触面可保障介质洁净度，契合半导体特种气体输送的安全与洁净要求。

安装维护便捷：采用连接器式安装设计，相比传统接线式传感器，大幅简化了集成式气体系统中的布线与装配流程，后期设备检修时，拆卸和更换传感器也更高效，能减少半导体生产线的停机维护时间。

适配高精度正压场景：0~1MPa 的量程适配半导体工艺中气体管路稳定输送阶段的正压监测需求，搭配高测量精度和优异的温度特性，可实时输出可靠的压力数据，为工艺参数调控提供精准依据。

适用场景：核心适配半导体制造领域，比如 CVD（化学气相沉积）设备、蚀刻设备的气体供给系统，可对管路内特种工艺气体的正压力变化进行高精度在线监测；同时也适用于半导体工厂的气体箱体、供气干线等关键位置，此外还能拓展到其他对压力监测精度和耐腐蚀性有要求的精密化工、电子制造等正压监测场景。