NIDEC尼得科 压力传感器 PA-928S-103G-C2 是尼得科 PA-928S 系列下的表压型电流输出压力传感器，主打适配半导体设备供气系统的正压高精度监测。

NIDEC尼得科 压力传感器     PA-928S-103G-C2

NIDEC尼得科 压力传感器

一、基本参数

压力相关参数：属于表压传感器，型号中 “103G" 对应 0~1MPa 的额定压力量程，可承受的最大压力达 1.5MPa，能满足半导体供气系统等多数正压场景的监测需求；测量精度达 ±1% F.S.，在 0 - 50℃的补偿温度区间内，温度特性仅 ±0.01% F.S./℃，能大幅降低环境温度波动对压力测量精度的干扰。

供电与输出：作为 PA-928S 系列机型，采用 4 - 20mA 标准工业电流输出，适配工业领域常见的二线制控制系统，无需额外信号转换模块；供电电压为 24VDC±10%，契合工业场景稳定供电标准，可兼容供电系统的小幅电压波动，适配各类工业设备的供电环境。

耐高温与环境适配：工作温度范围为 - 20~70℃，储存温度为 - 20~80℃，既能适配半导体车间的恒温工况，也能满足常规仓储需求；需在无结露的 35 - 85％RH 湿度环境下工作；防护等级达 IP40，可抵御车间内轻微粉尘和水滴侵袭，避免内部电路因受潮、积尘出现故障。

结构与防护细节：配备 1.125 英寸 C 型密封接头（C2），可精准匹配对应规格的供气管路接口；感压元件采用 SUS316L 双熔体材料制成薄膜型半导体元件，且传感器芯片与接头为一体焊接结构；整体净重约 90 - 130g，外形尺寸为 φ20×66 - 92.2mm（不含线缆），小型化设计适配集成式气体系统的狭小安装空间。

二、核心性能参数

耐腐蚀且密封性强：SUS316L 双熔体材料不仅能耐受半导体制造中特种腐蚀性工艺气体，还能保障接触介质的洁净度；一体焊接的结构设计则杜绝了气体泄漏风险，符合半导体特种气体输送的安全与洁净标准。

安装维护效率高：采用连接器式接续方式，相比传统接线式传感器，大幅简化了集成式气体系统中的布线与装配流程，后期设备检修时，拆卸和更换传感器无需复杂操作，能减少半导体生产线的停机维护时长。

适配集成化系统：自身小型轻量化的特点，搭配多样的安装适配性，非常适合集成到半导体设备的气体供给系统中，可灵活安装在管路、气体箱体等不同位置，不占用过多空间，契合集成式系统的紧凑设计需求。

适用场景：核心适配半导体制造领域，例如 CVD（化学气相沉积）设备、蚀刻设备的气体供给系统，可对管路内特种工艺气体的正压力进行高精度在线监测；同时也适用于半导体工厂的气体箱体、供气干线等关键节点。此外，还能拓展到精密化工、电子制造等对压力监测精度、耐腐蚀性和设备集成度有较高要求的正压监测场景。