NIDEC尼得科 压力传感器 PA-920S-103R-C2 属于尼得科 PA - 920S 系列压力传感器，是专为半导体设备气体供给系统设计的复合压型电压输出传感器，可同时监测负压与正压，适配多种复杂气压场景。

NIDEC尼得科 压力传感器     PA-920S-103R-C2

NIDEC尼得科 压力传感器

一、基本参数

压力相关参数：为复合压传感器，型号中 “103R" 对应 - 0.1~1MPa 的额定压力量程，可承受的最大压力为 1.5MPa；测量精度达 ±1% F.S.，0 - 50℃补偿温度区间内温度特性仅 ±0.01% F.S./℃，能减少温度变化对气压测量精度的影响。

供电与输出：属于 PA - 920S 系列，采用 1 - 5VDC 电压输出模式，可直接对接半导体设备控制系统，无需额外信号转换器；适配 12 - 24VDC±10% 的供电电压，契合工业场景常见供电标准，最大消耗电流为 20mA（供电 24V、输出电流 0mA 工况下）。

耐高温与环境适配：工作温度范围 - 20~70℃，储存温度 - 20~80℃，工作湿度为 35 - 85％RH 且需无结露；具备 IP40 防滴结构，可应对车间轻微粉尘、水滴侵袭，避免内部电路故障；绝缘电阻zui低为 50ＭΩ，能保障电路运行安全。

结构与防护细节：配备 1.125 英寸 C 型密封接头（C2），适配对应规格供气管路；感压接触部位采用 SUS316L 双熔接材料，且经过电解抛光处理，介质流道内 0.1μm 及以上尺寸的颗粒数为零；不含线缆时净重约 90g，外形尺寸为 φ20×66 - 92.2mm，小型化设计适配狭小安装空间。

二、核心性能参数

适配复杂气压场景：复合压测量量程可覆盖 - 0.1~1MPa，既能监测半导体设备供气系统启动时的负压状态，也能精准捕捉运行中的正压变化，相比单一表压传感器适用范围更广，适配半导体蚀刻、CVD 等设备的全流程气压监测。

密封耐腐蚀双保障：传感器芯片与接头采用一体焊接结构，杜绝特种工艺气体泄漏风险；SUS316L 双熔接材料不仅能耐受腐蚀性气体，还能通过电解抛光处理保障介质洁净度，契合半导体领域对气体接触部件的严苛要求。

安装维护便捷高效：采用连接器式安装设计，大幅简化了集成式气体系统的布线与装配流程，后期检修时无需复杂接线操作，可快速完成传感器的拆卸与更换，减少半导体生产线的停机时间。

适用场景：核心适配半导体制造领域，比如 CVD（化学气相沉积）设备、蚀刻设备的气体供给系统，可对管路内特种工艺气体从负压启动到正压稳定输送的全流程气压进行高精度在线监测；同时也适用于半导体工厂的气体箱体、供气干线等关键节点。此外，还能拓展到精密化工、电子制造等需要同时监测负压和正压，且对耐腐蚀性、测量精度有较高要求的场景。