NIDEC尼得科 压力传感器 PA-928S-103R-C2 是尼得科 PA-928S 系列下的复合压型电流输出压力传感器，专为半导体设备集成化气体供给系统设计，可同时精准监测负压与正压。

NIDEC尼得科 压力传感器    PA-928S-103R-C2

NIDEC尼得科 压力传感器

一、基本参数

压力相关参数：属于复合压传感器，型号中 “103R" 对应 - 0.1~1MPa 的额定压力量程，可承受的最大压力达 1.5MPa，能覆盖半导体设备供气启停时的负压状态与运行时的正压状态；测量精度达 ±1% F.S.，在 0 - 50℃的补偿温度区间内，可通过内置温度补偿功能减少温度波动对测量精度的影响，适配多数工业恒温工况。

供电与输出：作为 PA-928S 系列机型，采用 4 - 20mA 标准工业电流输出，能直接对接工业控制系统，无需额外信号转换装置；适配 24VDC±10% 的供电电压，符合工业场景常规供电标准，可兼容供电系统的小幅电压波动，保障输出信号稳定。

耐高温与环境适配：工作温度范围为 - 20~70℃，工作湿度需控制在 35 - 85％RH 且无结露，储存温度为 - 20~80℃，适配半导体车间及常规仓储的环境条件；防护结构可应对车间轻微粉尘、水滴侵袭，避免内部电路因受潮、积尘故障。

结构与防护细节：配备 1.125 英寸 C 型密封接头（C2），可精准匹配对应规格的供气管路；感压接触部位采用二次熔炼的 SUS316L 材料，能耐受半导体制造中的特种腐蚀性工艺气体；不含线缆时外形尺寸为 φ20×66mm，小型化设计适配集成式系统的狭小安装空间。

二、核心性能参数

适配复杂气压且信号稳定：相比单一量程传感器，其 - 0.1~1MPa 的复合压量程可覆盖半导体蚀刻、CVD 等设备供气全流程的气压监测需求；搭配 4 - 20mA 电流输出模式，信号抗干扰能力强，在长距离传输中不易失真，适配工厂供气干线等远距离监测场景。

密封防漏且耐腐蚀：传感器芯片与接头采用一体焊接结构，从结构上杜绝特种工艺气体泄漏风险，契合半导体领域对气体输送的安全要求；SUS316L 材质的感压部件，能抵御多数腐蚀性工艺气体侵蚀，同时保障介质接触部位的洁净度。

安装维护高效：采用连接器式安装设计，大幅简化集成式气体系统的布线与装配流程，后期生产线检修时，无需复杂接线操作即可快速完成传感器的拆卸与更换，减少设备停机时间。

适用场景：核心适配半导体制造领域，比如用于 CVD（化学气相沉积）设备、蚀刻设备的气体供给系统，可对管路内特种工艺气体的气压进行全流程在线监测；同时也适配半导体工厂的气体箱体、供气干线等关键节点。此外，因其耐腐蚀、量程覆盖广且适配集成式系统的特点，还可拓展到精密化工、gao端电子制造等对压力监测精度和设备集成度有较高要求的复合压监测场景。