Orientalmotor 东方马达步进电机 5 相 PK 系列真空型步进电机是该系列中适配10⁻⁵ - 10⁻⁴Pa 真空环境的特殊定制款，核心继承了 5 相 PK 系列高转矩、低振动的优势，同时通过针对性结构优化适配真空场景，搭配专属驱动器可满足真空环境下的精密定位需求

Orientalmotor 东方马达步进电机   5 相 PK 系列真空型步进电机

Orientalmotor 东方马达步进电机

基础电气规格：安装尺寸覆盖 20 - 85mm，适配不同真空设备的安装空间需求。采用 5 相设计，基本步距角为 0.72°，高分辨率型可达到 0.36°，停止精度达 ±0.05°；像基础款 PK513 系列额定电流 0.35A / 相，线圈耐热等级为 B 级（130℃），线圈与机壳间绝缘电阻在常温常湿下用 500VDC 兆欧表测量不低于 100MΩ，绝缘耐压根据机型不同为 AC0.5 - 1.5kV，适配真空环境下的电气安全要求。

机械结构参数

轴承振幅控制在 0.05mm 全跳动以内，安装嵌合部与轴的同心度、安装面与轴的垂直度均为 0.075mm 全跳动，保障真空环境中传动的稳定性。不同尺寸机型负载能力有差异，以 20mm 安装尺寸的 PK513 为例，轴端 0mm 处径向容许负载 12N，5mm 处为 15N，轴向容许负载 3N，大尺寸的 85mm 机型径向容许负载最高可达 290N（轴端 5mm 处），适配不同真空传动负载需求。

真空适配与核心优势

真空场景专属优化：该真空型在普通 5 相 PK 系列基础上，对电机密封结构、润滑体系进行了定制改造。轴承采用真空专用润滑脂，大幅减少真空环境下的气体释放量，避免污染真空腔室；外壳多采用无涂漆的铝或不锈钢材质，减少涂层在真空环境中挥发脱落的风险，同时满足真空环境下的耐腐蚀性和结构稳定性要求。

高精度且低振动：相比普通 2 相步进电机，其 0.72°（高分辨率型 0.36°）的小步距角优势显著，振动和噪音大幅降低。搭配 CVD 系列 5 相驱动器实现微步控制时，静止角度误差不会降低，仍保持与全步驱动接近的高精度，且能进一步减少运行振动，避免真空环境中振动对精密工件或实验样本的影响。

灵活适配多种功能需求：同系列可选择带编码器、减速机的真空适配衍生款。带编码器机型分辨率有 500P/R、1000P/R 可选，能检测电机位置信息，通过对比当前位置与指令位置可确认电机正常运行，还能借助 Z 相信号实现高再现性原点返回，省去真空环境中额外安装原点传感器的麻烦；减速机型可搭配谐波或行星减速机，适配真空环境下无齿隙或低齿隙的精密传动需求。

适配驱动器与控制特性

需搭配专属的 5 相 CVD 系列驱动器使用，该驱动器支持 AC/DC 输入，与该真空型电机组合后，能实现亚微米级高精度定位。驱动器可输出 TIM 信号，电机输出轴从原点每旋转 7.2°（高分辨率型 3.6°）时会触发信号输出，与编码器的 Z 相输出信号配合，能提升原点返回的再现性。同时支持宽转速范围调节，适配真空环境中恒定进给、往返运动等多种简单控制场景，且控制逻辑简洁，减少真空设备控制系统的复杂程度。

典型应用场景

主要用于对环境洁净度和定位精度要求双高的真空设备中，例如真空镀膜设备中的精密传动机构、半导体制造的真空蚀刻工序执行部件、真空环境下的材料分析仪器传动单元等。此外，在电子元件真空封装设备、小型真空实验装置的执行机构中也能发挥作用，既保障真空环境的稳定性，又通过高精度定位助力相关工序的加工或实验精度提升。