KAIJO楷捷超声波清洗机 QUAVA SPOT SHOWER系列是一款专为精密部件单片清洗设计的点式淋浴兆声波清洗系统，核心通过喷嘴喷射带超声波的清洗液实现超精细清洁，还推出双振子的 W 型款式适配双面清洗需求，广泛用于半导体、平板显示等领域。

KAIJO楷捷超声波清洗机    QUAVA SPOT SHOWER系列

KAIJO楷捷超声波清洗机

核心部件分为发生器和振子（含普通款与 W 双振子款），不同型号适配不同频率与清洗场景

发生器：20110（QT - 003）  最大输出 50W，适配 430kHz、950kHz 频率；供电为 AC100 - 240V，外形尺寸 218mm×258mm×138mm

发生器：29110（QT - 021）   最大输出 50W，适配 2MHz、3MHz 频率；具备远程控制、强制停止等功能，支持 4 - 20mA 模拟信号输出

发生器：30110（QT - 027/029 CE）   最大输出 100W，涵盖多频率组合，部分规格适配 200kHz/20W、430kHz/50W 等搭配，功率超 50W 在日本使用需申请高频设备许可

普通款振子：27220 型   许容输入 50W，430kHz 频率，外形尺寸 φ57×90mm，用水量 2.0 - 3.5L/min，筐体材质为 PEEK

普通款振子：17220 型   许容输入 20W，950kHz 频率，外形尺寸 φ36×71mm，用水量仅 1.0 - 1.5L/min

W 型双振子：27223 型   许容输入 20W×2，适配 430kHz 频率，用水量 3 - 4L/min，同一筐体装 2 台振子，可实现双面同时清洗

二、核心功能与性能优势

1.高精度清洁 + 低损伤：

支持 430kHz/950kHz、2MHz/3MHz 多组高频组合，功率可按 0.1W 的精度微调，且功率波动仅 ±1%，能精准去除抗蚀剂剥离、蚀刻后的细微残留物，同时避免对精密部件的微图案造成损伤。

2.灵活适配 + 高效清洗：

既有适配小尺寸部件的小型振子，也有双振子的 W 型款式，可满足单一部件清洗和硬盘等部件的双面同步清洗需求。振子喷嘴采用高纯度石英、SUS 或 PEEK 材质，还可定制 PCTFE 材质筐体，适配不同清洗环境。

3.便捷运维 + 稳定可控：

更换发生器或振子时无需现场校准，可直接投入使用，减少生产线停机时间。发生器配备 4 位数字功率显示，支持通过 RS - 485 或 DeviceNet 与上位机通信，同时搭载可编程软启动和软停止功能，避免功率冲击损坏设备和工件。

二、适用场景

该系列是单片清洗的专用设备，核心适配半导体晶圆、LCD 面板的单片清洗，同时可用于硬盘介质、FPD 玻璃基板以及太阳能电池基板的精密清洗。其高频低损伤的特性，能精准应对这类部件表面的细微污渍，且避免清洗过程中对精密结构造成损耗，是电子制造领域超精细清洗的核心设备之一。此外还可搭配 Spot Shower 和 Mega Tube 两种喷嘴，进一步适配不同部位的定点清洗或均匀清洗需求。