KAIJO楷捷超声波清洗机 QUAVA SPOT MEGA TUBE系列（兆声喷管）是一款适配 SPOT 系列的兆声喷管清洗配件，常与对应兆声波发生器搭配组成清洗系统，核心优势是能灵活聚焦兆声能量或均匀清洁大尺寸基板，适配半导体、平板显示等领域的精密单片清洗需求。

KAIJO楷捷超声波清洗机    QUAVA SPOT MEGA TUBE系列（兆声喷管）

KAIJO楷捷超声波清洗机

1.适配发生器：

主力适配 30110 型号发生器，输出功率可在 1 - 100W 范围内调节，支持 0.1W 精度的细微调整，功率波动仅 ±1%。供电电压覆盖 AC100 - 240V，适配 50/60Hz 频率，额定电流 5A，外形尺寸为 218mm×258mm×138mm，重量 5kg，便于集成安装。

2.喷管核心参数：

适配 430kHz 和 950kHz 两种高频，可高效去除亚微米级颗粒污渍。喷管材质选用高纯度石英或不锈钢（SUS），具备良好的耐腐蚀性和能量传导性，适配工业清洗中的各类化学清洗液环境。

3.照射方式：

提供三种声波照射模式，分别是jian端照射法、喷淋照射法和侧面照射法，可根据清洗部位的空间限制灵活选择，无需预留额外的振子安装空间，能轻松将兆声能量传导到精密部件的狭小角落。

二、核心功能与性能优势

1.能量可控，清洁精准：

搭配发生器使用时，既能将兆声能量聚焦于特定点位进行定点精细清洗，也能对大型基板实现均匀清洗，解决了传统清洗设备难以兼顾定点清洁和大面积清洁的问题。同时发生器支持自动频率跟踪，配合 4 位数码显示的功率计，可实时监控输出功率，保障清洁力度稳定可控。

2.安装便捷，运维高效：

喷管与同系列发生器适配性强，更换喷管或发生器时无需现场校准，可直接投入生产线使用，大幅减少停机调试时间。且发生器具备可编程软启动和软停止功能，能避免功率冲击对喷管和工件造成损伤，延长设备使用寿命。

3.灵活适配，适配性强：

管状喷嘴设计使其无需额外预留振子间隙，可深入狭小空间传导兆声能量，轻松清洁精密部件的隐蔽角落。同时适配不同尺寸的单片工件，从半导体晶圆到大型 FPD 基板，均可通过调整照射方式满足清洗需求。

4.智能联动，操作便捷：

依托发生器的内部 CPU 可实现与上位机的通信，支持通过远程终端、RS - 485 或 DeviceNet 进行远程控制，还能反馈设备运行状态，方便工作人员实时监控清洗进程，适配自动化生产线的管控需求。

二、适用场景

主打半导体晶圆、LCD 面板、硬盘介质等精密部件的单片清洗，也可用于太阳能电池基板的超精细清洁，尤其适合去除抗蚀剂剥离、蚀刻后残留的细微污渍，且高频清洗模式不会对工件表面的微图案造成损伤。